特許

J-GLOBAL ID：200903056819403776

基板測定装置及び基板搬送装置並びに基板測定装置を備えた画像形成装置と基板測定方法

発明者： 小泉 孝
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-238843
公開番号（公開出願番号）：特開2006-058496
出願日： 2004年08月18日
公開日（公表日）： 2006年03月02日
要約：

【課題】 基板の位置がずれていても、そのアライメントマークの測定が確実に実行できる基板測定装置とその方法、更には、その基板を搬入・排出する基板搬送装置と、基板測定装置を備えた画像形成装置の提供を課題とする。【解決手段】 基板100のアライメントマーク102を少なくとも2つの視野広さで測定できる測定部30を備えた基板測定装置と、その基板測定装置の広視野での測定結果に基づいて、ステージ部材20上の基板100の位置を補正する位置補正手段を備え、ステージ部材20に対して基板100を搬入・排出する基板搬送装置50と、基板測定装置の測定部30の測定結果に基づくアライメント後の基板100に対して画像を露光する露光装置10を備えた画像形成装置であり、基板100のアライメントマーク102を、初めに狭視野で測定し、狭視野での測定が不可能だったときに、広視野で測定する基板測定方法である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板のアライメントマークの位置を測定する基板測定装置であって、 前記アライメントマークを少なくとも2つの視野広さで測定できる測定部を備えたことを特徴とする基板測定装置。

IPC (4件)：

G03F 9/00 ,  G01B 11/00 ,  H05K 3/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F9/00 A ,  G01B11/00 H ,  H05K3/00 Q ,  H01L21/30 525F

Fターム (20件)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG07 ,  2F065GG08 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065PP16 ,  2H097BA02 ,  2H097KA03 ,  2H097KA29 ,  2H097LA09 ,  5F046DB05 ,  5F046FA09

引用特許：

出願人引用 (3件)

• レーザー露光装置及びその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-151319   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• アラインメント調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-046345   出願人：旭光学工業株式会社
• アライメントスコープの位置校正装置及びその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-143067   出願人：大日本スクリーン製造株式会社