特許
J-GLOBAL ID：200903056880090713
光学式変位測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-234547
公開番号（公開出願番号）：特開2000-081308
出願日： 1998年08月20日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：
【要約】【課題】 高い分解能で位置検出が可能な光学式変位測定装置を提供する。【解決手段】 本発明では、第1の結像手段4により可干渉光Laが回折格子1の格子面に結像されているとともに、第2の結像手段5により平行光とされ第1の干渉光Lb1,Lb2が反射光学系3に垂直に照射されている。本発明では、第1の回折光Lb1の光軸がずれた場合であっても、反射された第1の回折光Lb1は必ず入射したときと同じ光路を逆行し回折格子1の格子面上の結像位置は変化せず、第1の回折光Lb1が回折することにより生じる第2の回折光Lb2の光軸がずれない。本発明では、この光軸のずれない第2の回折光Lb2を干渉させて、その位相差を検出し、回折格子1の移動位置を測定する。
請求項（抜粋）：
可干渉光が照射され、この可干渉光に対して格子ベクトルに平行な方向に相対移動し、この可干渉光を回折する回折格子と、可干渉光を発光する発光手段と、上記発光手段により発光された可干渉光を2つの可干渉光に分割して、上記回折格子に対して各可干渉光を照射する照射光学系と、上記各可干渉光が上記回折格子により回折されて得られる2つの第1の回折光をそれぞれ反射して、上記回折格子に対して各第1の回折光を照射する反射光学系と、上記各第1の回折光が上記回折格子により回折されて得られる2つの第2の回折光を干渉させる干渉光学系と、干渉した2つの第2の回折光を受光して干渉信号を検出する受光手段と、上記受光手段が検出した干渉信号から上記2つの第2の回折光の位相差を求めて、上記回折格子の相対移動位置を検出する位置検出手段とを備え、上記照射光学系は、上記回折格子に対して照射される2つの可干渉光を、この回折格子の格子面に結像させる第1の結像手段を有し、上記反射光学系は、上記回折格子に対して照射される2つの第1の回折光を、それぞれ対応する可干渉光の結像位置と同一位置に結像させる第2の結像手段を有することを特徴とする光学式変位測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 G
, G01D 5/38 A
2F003AA03
, 2F003AA13
, 2F003AA16
, 2F003AA20
, 2F003AA21
, 2F003AB02
, 2F003AC03
, 2F003AD01
, 2F065AA02
, 2F065CC17
, 2F065DD03
, 2F065FF48
, 2F065FF51
, 2F065GG06
, 2F065HH04
, 2F065JJ01
, 2F065LL12
, 2F065LL37
, 2F065LL42
