特許

J-GLOBAL ID：200903056898238505

電荷粒子のための画像生成型エネルギフィルタおよび画像生成型エネルギフィルタの使用

発明者： フンネマン、ディートマー ,  エッシャー、マッティアス
出願人/特許権者： オミクロン、ナノ・テヒノロギー・ゲーエムベーハー ,  フォーカス・ゲーエムベーハー・ゲレーテ・ツーア・エレクトロネンシュペクトロスコピー・ウント・オベルフレヒェンアナリティク
代理人 (11件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-549103
公開番号（公開出願番号）：特表2006-505898
出願日： 2003年11月04日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：

【課題】本発明は、電荷粒子のための画像生成型エネルギフィルタに関する。【解決手段】第1のエネルギ分析器(30)の出口面(5)と第2のエネルギ分析器(40)の前記入口面(6)との間には、トランスファレンズ手段(20)が設けられている。これにより、サンプル(1)の表面(1 ́)の、検出器(10)への、エネルギ濾過された、収差のない結像が可能となる。

請求項（抜粋）：

電子およびイオンのような電荷粒子のための画像生成型エネルギフィルタであって、少なくとも2つの、環状の、相前後して設けられたエネルギ分析器を具備し、少なくとも1つのエネルギ分析器は、入口面および出口面に、夫々絞りを有してなるエネルギフィルタにおいて、 前記第1のエネルギ分析器(30,30 ́,30 ́ ́)の前記出口面(5)と前記第2のエネルギ分析器(40,40 ́,40 ́ ́)の前記入口面(6)との間には、トランスファレンズ手段(20)が設けられており、このトランスファレンズ手段は、負の横倍率VLと、負の角倍率VWと、角度γ=β-180°分の画像の回転と、テレスコープ状のビームパスとを有し、ここで、夫々の偏向角Φは等しく、また、エネルギ分散面(33,43)は、互いに角度βだけ回転されていることを特徴とするエネルギフィルタ。

IPC (2件)：

H01J 49/44 ,  H01J 37/05

FI (2件)：

H01J49/44 ,  H01J37/05

Fターム (4件)：

5C033AA01 ,  5C033AA05 ,  5C038KK07 ,  5C038KK08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• フォトイオン分光計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-273396   出願人：ユナイテッドステイツデパートメントオブエナージィ
• 特開平4-233145
  
• 磁気形結像エネルギフィルタを有する電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-182405   出願人：エルエーオーエレクトローネンミクロスコーピーゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング