特許
J-GLOBAL ID：200903056929338392
WET処理槽及びその給液方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀 城之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-330830
公開番号（公開出願番号）：特開平11-150091
出願日： 1997年11月17日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：
【要約】【課題】 よどみに対し考案された従来方式では不十分であるため、十分によどみを解消する手段を提供し、水洗効率を向上させるとともに、純水の使用量を削減すること。【解決手段】 オーバーフロー構造の水洗処理槽又は薬液処理槽等のWET処理槽であって、処理槽2内に給液するための複数の給液パイプ4、5、6、7、8、9と、各々の給液パイプに設けた給液調整用の自動弁16と、それらの自動弁を制御して液体を吐出させる給液パイプを任意に切り換えるための制御手段35とを含む構成とした。その場合、複数の給液パイプのうちの一部の給液パイプの吐出口10が処理槽2内の液体のよどみ領域部分に開口している構成とする。
請求項（抜粋）：
オーバーフロー構造の水洗処理槽又は薬液処理槽等のWET処理槽であって、処理槽内に給液するための複数の給液パイプと、各々の給液パイプに設けた給液調整用の自動弁と、それらの自動弁を制御して液体を吐出させる給液パイプを任意に切り換えるための制御手段とを含むことを特徴とする、WET処理槽。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/10
H01L 21/304 341 S
, B08B 3/10 Z
