特許

J-GLOBAL ID：200903056931801601

読取装置

発明者： 小沢 和博
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-098054
公開番号（公開出願番号）：特開2003-297708
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：

【要約】【課題】 ウエハによっては識別記号がウエハの表面に付されたものやウエハの裏面に付されたものが混在し、しかも読取装置がローダ室内に固定されているため、オペレータは識別記号の付された面に即してOCRの設置状態を手作業で変更し、OCRで識別記号を読み取ることができるように調整しなくてはならない。【解決手段】 本発明の読取装置10は、バーコードBCを読み取るOCR11と、OCR11をバーコードBCの付されたウエハWの表面または裏面に即して反転させるモータ14とを備え、反転したか否かをフォトマイクロセンサ15及びシャッタ16で検出する。

請求項（抜粋）：

処理装置内で搬送機構によって搬送される被処理体の表面または裏面に付された識別記号を読み取る装置において、上記識別記号を読み取る読取手段と、上記読取手段を上記識別記号の付された面に即して反転させる反転手段とを備えことを特徴とする読取装置。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/02 A ,  H01L 21/66 A ,  H01L 21/66 Z ,  H01L 21/68 A

Fターム (15件)：

4M106AA01 ,  4M106DJ40 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031HA53 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA13 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA50 ,  5F031MA11 ,  5F031MA33

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 情報読取装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-040539   出願人：富士ゼロックス株式会社
• 半導体ウエハの識別方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-341051   出願人：ソニー株式会社
• 半導体製造装置およびそれに用いるIDマークの認識方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-269322   出願人：株式会社日立製作所, 日立超エル・エス・アイ・エンジニアリング株式会社
• 特開昭61-042150