特許
J-GLOBAL ID：200903056932360633
ポジ型感光性樹脂の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-206157
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095439
出願日： 1998年07月22日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 高感度で高残膜率のパターンを得ることができる封止樹脂との密着性に優れるポジ型感光性樹脂の製造方法を提供する。【解決手段】 芳香族ジカルボン酸誘導体(A)1モルに対して芳香族アミノフェノール化合物(B)0.6〜0.99モル、ジアミノシロキサン(C)0.01〜0.4モルとを極性溶媒中、10〜100°Cの温度で反応させて得られたポリアミド(D)100重量部に感光性ジアゾキノン化合物(E)1〜100重量部とフェノール化合物(F)1〜50重量部を配合することを特徴とするポジ型感光性樹脂の製造方法。
請求項（抜粋）：
一般式(I)で示される芳香族ジカルボン酸誘導体(A)1モルに対して一般式(II)で示される芳香族アミノフェノール化合物(B)0.6〜0.99モル、一般式(III)で示されるジアミノシロキサン(C)0.01〜0.4モルとを極性溶媒中、10〜100°Cの温度で反応させて得られたポリアミド(D)100重量部に感光性ジアゾキノン化合物(E)1〜100重量部と一般式(IV)で示されるフェノール化合物(F)1〜50重量部を配合することを特徴とするポジ型感光性樹脂の製造方法。【化1】【化2】【化3】【化4】
IPC (6件)：
G03F 7/075 511
, C08G 69/42
, G03F 7/022
, G03F 7/037
, G03F 7/039
, H01L 21/027
G03F 7/075 511
, C08G 69/42
, G03F 7/022
, G03F 7/037
, G03F 7/039
, H01L 21/30 502 R
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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