特許
J-GLOBAL ID:200903057020767542
空圧浮動支持装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
三浦 邦夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-216834
公開番号(公開出願番号):特開2002-031183
出願日: 2000年07月18日
公開日(公表日): 2002年01月31日
要約:
【要約】【目的】 平面的な大きさを大きくすることなく、かつ加圧空気圧力を高めることなく、必要な出力(荷重保持能力)を容易に得ることができる空圧浮動支持装置を得る。【構成】 機械的接触部分を持たない固定台と可動台との間に、それぞれベローズを介して、互いに連通する第一、第二の圧力空気室を対で形成し、この第一の圧力空気室は、該第一の圧力空気室に加圧空気が供給されたとき可動台を重力に抗する方向に移動させるように形成する一方、第二の圧力空気室は、該第二の圧力空気室に加圧空気が供給されたとき可動台を重力方向に移動させるように形成し、かつ第一の圧力空気室による可動台の受圧面積を、第二の圧力空気室による可動台の受圧面積より広く設定した空圧浮動支持装置。
請求項(抜粋):
機械的接触部分を持たない固定台と可動台との間に、それぞれ可撓性気密部材を介して形成した、互いに連通する第一、第二の圧力空気室;この第一の圧力空気室は、該第一の圧力空気室に加圧空気が供給されたとき可動台を重力に抗する方向に移動させるように形成されていること;上記第二の圧力空気室は、該第二の圧力空気室に加圧空気が供給されたとき可動台を重力方向に移動させるように形成されていること;第一の圧力空気室による可動台の受圧面積は、第二の圧力空気室による可動台の受圧面積より広く設定されていること;及び上記第一、第二の圧力空気室に加圧空気を供給する供給手段;を備えたこと特徴とする空圧浮動支持装置。
IPC (5件):
F16F 9/46
, F16F 9/04
, F16M 3/00
, F16M 5/00
, F16M 7/00
FI (5件):
F16F 9/46
, F16F 9/04
, F16M 3/00 H
, F16M 5/00 D
, F16M 7/00 C
Fターム (4件):
3J069AA27
, 3J069AA31
, 3J069CC13
, 3J069EE50
引用特許:
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