特許
J-GLOBAL ID：200903057175206717
吸収分光のためのインラインセル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-559413
公開番号（公開出願番号）：特表2002-520588
出願日： 1999年07月13日
公開日（公表日）： 2002年07月09日
要約：
【要約】【課題】【解決手段】吸収分光に利用される新規なインラインセルが提供される。セル(200)は、同じもしくは別であり得る光導入ポート(214)及び光導出ポート内に、サンプル領域(202)を有する。各ポートは、サンプル領域と連通し、光透過ウィンドー(218)を有している。光反射面を有するミラー(208)は、サンプル領域に面しており、光導入ポート及び光導出ポート内の光透過ウィンドー(218)を加熱するのに利用されるヒータ(222)が設けられている。セルは、サンプル中の分子ガスの不純物の濃度を測定するために使用され得る。特に、半導体処理ツールで製造される半導体に適用可能である.
請求項（抜粋）：
サンプル領域と、このサンプル領域と連通し、光透過ウィンドーを有し、同じもしくは別のポートである、光導入ポート及び光導出ポートと、サンプル領域に面する光反射面を有するミラーと、前記光導入ポート並びに/もしくは前記光導出ポート内の前記光透過ウィンドーを加熱するヒータとを具備する、吸収分光法において利用されるインラインセル。
Fターム (8件)：
2G057AA01
, 2G057AB04
, 2G057AB06
, 2G057AC03
, 2G057BA01
, 2G057BB01
, 2G057EA06
, 2G057JA14
