特許

J-GLOBAL ID：200903057189871519

共焦点顕微鏡

発明者： 古賀 和典
出願人/特許権者： 日本電産トーソク株式会社
代理人 (1件)： 三好 千明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-108771
公開番号（公開出願番号）：特開2008-268387
出願日： 2007年04月18日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：

【課題】測定時間を短縮することができる共焦点顕微鏡を提供する。【解決手段】光源22の光からライン状の輝線を取り出し、輝線から放射された白色光を、色収差発生レンズ34で連続した波長成分に色分散した後、対物レンズ36を介してステージ37上の試料21に照射する。色分散されたライン状の輝線は、光軸41上に波長ごとに連続して高さ方向に結像し、試料21の表面のある1つの点に1つの波長の光が焦点を結ぶ。試料21表面に焦点を結んだ波長の光の反射光を、対物レンズ36を介して色収差発生レンズ34で集光した後、スリット52で焦点を結ぶように構成する。スリット52を通過した光を、分光素子62で分光して2次元アレイ光検出器82に結像する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

白色光源と、 該白色光源から発する光からライン状の輝線を得る手段と、 前記ライン状の輝線の光を色収差発生レンズにより連続した波長成分に色分散し、対物レンズにより試料上に波長ごとのライン状の輝線を光軸上に沿って深度方向に連続して結像し、当該試料からの反射光又は透過光を対物レンズおよび色収差発生レンズにより結像面に結像する手段と、 前記結像面にスリットを設け、スリットを通過した光を分光する手段と、 分光された光を2次元アレイ光検出器に結像する手段と、 を備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/06 ,  G02B 21/36 ,  G01B 11/30

FI (3件)：

G02B21/06 ,  G02B21/36 ,  G01B11/30 Z

Fターム (31件)：

2F065AA24 ,  2F065AA50 ,  2F065FF01 ,  2F065FF10 ,  2F065GG02 ,  2F065GG24 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL09 ,  2F065LL10 ,  2F065LL28 ,  2F065LL67 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065UU07 ,  2H052AA08 ,  2H052AB24 ,  2H052AC01 ,  2H052AC14 ,  2H052AC16 ,  2H052AC18 ,  2H052AD18 ,  2H052AF07 ,  2H052AF14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• レーザ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-168344   出願人：株式会社キーエンス

審査官引用 (4件)

• 検出光学系並びに立体形状検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-134668   出願人：株式会社日立製作所
• 共焦点顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-021429   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 共焦点顕微鏡装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-541092   出願人：カールツアイスイエーナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
• 特開平1-245215