特許
J-GLOBAL ID：200903057197545183
圧電素子、インクジェットヘッド、角速度センサ及びこれらの製造方法、並びにインクジェット式記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
前田 弘
, 小山 廣毅
, 竹内 宏
, 嶋田 高久
, 竹内 祐二
, 今江 克実
, 手島 勝
, 藤田 篤史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-363256
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047928
出願日： 2002年12月16日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】圧電素子において結晶性及び(001)面結晶配向性の良好なペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層を形成して、この圧電素子の特性ばらつきを低減するとともに、耐電圧及び信頼性を向上させる。【解決手段】基板11上に密着層12を設け、密着層12上に、チタン又は酸化チタンを含有する貴金属からなる第1の電極層14を設け、第1の電極層14上に、(100)面又は(001)面に優先配向した配向制御層15を設ける。この配向制御層15における第1の電極層14側の表面近傍部を、(100)面又は(001)面配向の領域が第1の電極層14における配向制御層15側の表面部に位置するチタン又は酸化チタン上に存在しかつ層厚方向と垂直な断面における上記領域の面積が第1の電極層14側から反対側に向かって大きくなる構造とする。この配向制御層15上に、(001)面に優先配向した圧電体層16を設ける。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に設けられた第1の電極層と、該第1の電極層上に設けられた配向制御層と、該配向制御層上に設けられた圧電体層と、該圧電体層上に設けられた第2の電極層とを備えた圧電素子であって、
上記第1の電極層は、チタン又は酸化チタンを含有する貴金属からなり、
上記配向制御層は、立方晶系又は正方晶系の(100)面又は(001)面に優先配向したペロブスカイト型酸化物からなり、
上記圧電体層は、菱面体晶系又は正方晶系の(001)面に優先配向したペロブスカイト型酸化物からなり、
上記配向制御層における少なくとも第1の電極層側の表面近傍部は、(100)面又は(001)面配向の領域が第1の電極層における配向制御層側の表面部に位置するチタン又は酸化チタン上に存在しかつ層厚方向と垂直な断面における上記領域の面積が第1の電極層側から圧電体層側に向かって大きくなる構造を有していることを特徴とする圧電素子。
IPC (11件)：
H01L41/09
, B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
, G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08
, H01L41/18
, H01L41/187
, H01L41/22
, H01L41/24
H01L41/08 C
, G01C19/56
, G01P9/04
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101Z
, H01L41/18 101J
, H01L41/08 Z
, H01L41/22 Z
, H01L41/22 A
2C057AF93
, 2C057AG44
, 2C057AG85
, 2C057AG91
, 2C057AP22
, 2C057AP23
, 2C057AP25
, 2C057AP31
, 2C057AP52
, 2C057AP53
, 2C057AP56
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
, 2F105BB04
, 2F105BB14
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
