特許
J-GLOBAL ID：200903057208424715

検査装置

発明者：
鈴木 保之

鈴木 保之 について

, 
宮下 丈人

宮下 丈人 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-313073
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135690
出願日： 1999年11月02日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】 検査を行う環境をクリーンに保つためのクリーンボックスに生じた振動が、装置本体部分に伝わることを有効に抑制して、微細なパターンの検査を適切に行うことを可能にする。【解決手段】 装置本体10が設置される床板材101を跨ぐように配設された支持手段70によりクリーンボックス3を支持するようにする。これにより、クリーンボックス3が、装置本体10が設置される床板材101とは異なる床板材101上に設置されることになり、クリーンボックス3に生じた振動が装置本体10に伝わることが有効に抑制される。
請求項（抜粋）：
複数枚の床板材が敷き詰められてなる設置スペースに設置される検査装置であって、内部環境がクリーンに保たれるクリーンボックスと、上記クリーンボックスの内部に収容されて、被検査物の検査を行う装置本体部と、上記クリーンボックスを支持する支持部材とを備え、上記クリーンボックスが、上記支持部材を介して上記設置スペースに設置されることにより、上記装置本体部が設置される床板材とは異なる床板材上に設置されることを特徴とする検査装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/02
FI (4件)：
H01L 21/66 J ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 A ,  H01L 21/02 D
Fターム (66件)：
2F065AA03 ,  2F065AA14 ,  2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065DD04 ,  2F065EE06 ,  2F065FF10 ,  2F065FF51 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG21 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065MM00 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ36 ,  2F065QQ38 ,  2F065RR02 ,  2F065SS13 ,  2F065TT07 ,  2F065UU01 ,  2F065UU05 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BA05 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA03 ,  2G051DA08 ,  2G051DA17 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EB09 ,  2G051EC01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106BA07 ,  4M106CA41 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB08 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ23
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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