特許
J-GLOBAL ID:200903057240669282

半導体装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-202970
公開番号(公開出願番号):特開平9-051015
出願日: 1995年08月09日
公開日(公表日): 1997年02月18日
要約:
【要約】【目的】 半導体装置の薄型化、高密度化、高信頼性、高生産性。【構成】 片面にIC接続電極2と外部接続電極3を形成した回路基板6に、一方、ウエファーにバンプ電極7をバンピングし、所定のチップサイズにダイシングしたICチップ8をフリップチップボンディングする。前記ICチップ8の側面を封止樹脂9でポッティングした後、非電極形成面8aを所定の厚みまでラッピング研磨し、マトリックス状に形成された複数の外部接続電極3上にボール電極10を形成する。ICチップ8の実装部上面高さtをボール電極10の頂点高さhより低く形成する。【効果】 マザーボード基板の導通及び洗浄が容易、薄型化及びコスト低下。
請求項(抜粋):
一方の面にIC接続電極と外部接続電極を形成した回路基板の前記IC接続電極にICチップをフェースダウンボンディングすると共に、前記外部接続電極にボール電極を形成してなり、前記ICチップの実装部上面高さが前記ボール電極の頂点高さ以下であることを特徴とする半導体装置。
IPC (2件):
H01L 21/60 311 ,  H01L 23/12
FI (2件):
H01L 21/60 311 Q ,  H01L 23/12 L
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭47-036857
  • チップキャリア
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-155679   出願人:松下電工株式会社
  • 半導体装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-165270   出願人:株式会社メガチップス
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