膜材料の加熱乾燥方法および装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-048441
公開番号（公開出願番号）：特開平8-243463
出願日： 1995年03月08日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：

【要約】【目的】膜材料の表面に生じる凹凸や厚みの不均一を防ぎ、膜材料の全体を均一かつ効率的に加熱乾燥できるようにする。【構成】加熱部材10を膜材料40が配置された被着面32との間に狭い隙間をあけて対面させて配置する工程と、隙間に実質的に層流である乾燥気流を流通させながら、加熱部材10により膜材料40を加熱する工程とを含む。

請求項（抜粋）：

被着面に配置された膜材料を加熱乾燥させる方法であって、加熱部材を前記被着面との間に狭い隙間をあけて対面させて配置する工程と、前記隙間に実質的に層流である乾燥気流を流通させながら、前記加熱部材により前記膜材料を加熱する工程とを含む膜材料の加熱乾燥方法。

IPC (7件)：

B05C 9/14 , B05D 3/00 , C01B 31/04 101 , F26B 3/20 , F26B 23/10 , G02B 1/10 , H01L 21/31

FI (7件)：

B05C 9/14 , B05D 3/00 Z , C01B 31/04 101 Z , F26B 3/20 , F26B 23/10 Z , H01L 21/31 Z , G02B 1/10 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

レジストの乾燥方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-231170 出願人：大日本印刷株式会社
特開平1-236966
塗膜乾燥装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-246988 出願人：株式会社東芝

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