極低温装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：小谷悦司 , 伊藤孝夫 , 樋口次郎 , 村松敏郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-318142
公開番号（公開出願番号）：特開2007-127298
出願日： 2005年11月01日
公開日（公表日）： 2007年05月24日
要約：

【課題】極低温装置の冷凍機の交換作業に際し、冷凍機スリーブ内に大気が流入することを防ぐ。【解決手段】格納容器14と装置外部とにつながる冷凍機挿入空間内から冷凍機30を抜き取るに際し、外部からパージガス導入管80を通じて冷凍機挿入空間内にパージガスを導入することにより、同空間内に格納容器14側から装置外部側に向かうパージガス流を形成して同空間内への外気の流入を抑止できるようにする。前記パージガス導入管80は冷凍機30に沿って設け、この冷凍機30とともに冷凍機挿入空間に対して挿脱されるようにする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被冷却体を格納する格納容器と、この格納容器内に格納される前記被冷却体の冷却に寄与する冷熱を発生させる冷凍機とを備えた極低温装置において、前記格納容器の内部と装置外部とにつながって装置外部から前記冷凍機が挿入可能である冷凍機挿入空間を囲む冷凍機挿入部と、前記冷凍機挿入空間から装置外部へ前記冷凍機が引き抜かれたときに当該冷凍機挿入空間内に外気が流入するのを防ぐためのパージガスを装置外部から前記冷凍機挿入空間内に導入して前記格納容器側から装置外部側に向かうパージガス流を形成するためのパージガス導入管とを備え、このパージガス導入管は、前記冷凍機に沿って設けられて当該冷凍機とともに前記冷凍機挿入空間に対して挿脱されるように構成されていることを特徴とする極低温装置。

IPC (2件)：

F25B 9/00 , H01L 39/04

FI (2件)：

F25B9/00 Z , H01L39/04

Fターム (6件)：

4M114AA31 , 4M114BB04 , 4M114CC16 , 4M114DA02 , 4M114DA18 , 4M114DA32

引用特許：

出願人引用 (8件)

極低温冷凍機のメンテナンス装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-022919 出願人：ダイキン工業株式会社, 長瀬産業株式会社
特開平4-306472
極低温冷凍機
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-291869 出願人：住友重機械工業株式会社

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審査官引用 (8件)

特開平4-306472
極低温冷凍機
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-291869 出願人：住友重機械工業株式会社
極低温装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-017397 出願人：株式会社神戸製鋼所

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