特許
J-GLOBAL ID：200903057274515500

気体流量測定装置

発明者：
松村 隆史

松村 隆史 について

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片岸 健一

片岸 健一 について

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松本 昌大

松本 昌大 について

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半沢 恵二

半沢 恵二 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について

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株式会社日立カーエンジニアリング

株式会社日立カーエンジニアリング について


代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370023
公開番号（公開出願番号）：特開2003-166865
出願日： 2001年12月04日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：
【要約】【課題】デジタル調整方式気体流量測定装置において基板温度依存誤差を低減する。【解決手段】流量信号アナログ・デジタル変換回路30,調整演算回路40,チップ温度センサ回路60を1つの半導体チップ100上に集積回路化して設置し、チップ温度センサ回路60から出力するチップ温度信号を調整演算回路40に入力して信号処理系の温度依存誤差を低減する補正を行なう。
請求項（抜粋）：
気体流路中に配置される抵抗体に流れる電流や該電流に応じて発生する電圧を検出して前記気体流路中を流れる気体流量に応じたアナログ信号形態の流量信号を出力する気体流量検出回路と、この気体流量検出回路から出力されるアナログ信号形態の流量信号をデジタル信号形態の電気信号に変換する流量信号アナログ・デジタル変換回路と、前記デジタル信号形態の流量信号を所望する出力特性となるように調整する調整演算回路を備えた気体流量測定装置において、前記流量信号アナログ・デジタル変換回路,調整演算回路を同一の半導体チップに集積回路化すると共に、前記半導体チップ上に更にチップ温度センサとチップ温度信号アナログ・デジタル変換回路を集積回路化して設置し、前記チップ温度センサから出力するアナログ信号形態のチップ温度信号を前記チップ温度信号アナログ・デジタル変換回路においてデジタル信号形態のチップ温度信号に変換して前記調整演算回路に入力して信号処理系の温度依存誤差を低減する補正を行うようにしたことを特徴とする気体流量測定装置。
IPC (5件)：
G01F 1/696 ,  F02D 45/00 358 ,  F02D 45/00 366 ,  F02D 45/00 376 ,  G01F 1/68
FI (5件)：
F02D 45/00 358 N ,  F02D 45/00 366 B ,  F02D 45/00 376 D ,  G01F 1/68 A ,  G01F 1/68 201 Z
Fターム (9件)：
2F035AA02 ,  2F035EA03 ,  2F035EA05 ,  2F035EA06 ,  2F035EA09 ,  3G084BA04 ,  3G084EA02 ,  3G084EB01 ,  3G084FA02
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (9件)
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