特許
J-GLOBAL ID：200903057339073349

X線検査装置

発明者：
伊藤 誠司

伊藤 誠司 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (2件)： 鹿島 義雄 ,  甲斐 寛人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-090055
公開番号（公開出願番号）：特開2008-251300
出願日： 2007年03月30日
公開日（公表日）： 2008年10月16日
要約：
【課題】 フィラメント温度が必要以上に高温にならないようにして、フィラメント寿命を延ばすことができるX線検査装置を提供する。 【解決手段】 開放型X線管10と、フィラメント電流供給部21と、高電圧供給部22とバイアス電圧供給部23と、X線検出器12と、検出信号に基づいてX線輝度信号を作成することによりX線画像を作成する画像作成部13とを備え、フィラメント電流供給部とバイアス電圧供給部とにより管電流を制御し、高電圧供給部により管電圧を制御するX線検査装置において、フィラメント電流が順次増加していくようにフィラメント電流供給部の制御を行うフィラメント電流制御部41と、フィラメント電流の増加に対するX線輝度信号の変化をフィラメント電流特性として計測するフィラメント電流特性計測部42と、飽和フィラメント電流(I0)を抽出する飽和フィラメント電流抽出部とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
フィラメント、加速電極、フィラメントと加速電極との間に配置されるグリッド電極が大気開放可能な真空容器に配設され、フィラメントから放出される電子をターゲットに衝突させてX線を発生する開放型X線管と、 電子を放出するためのフィラメント電流を供給するフィラメント電流供給部と、 加速電極・フィラメント間に電子加速用の高電圧を印加する高電圧供給部と、 フィラメント・グリッド電極間にフィラメントから加速電極に向かう電子を制限するバイアス電圧を印加するバイアス電圧供給部と、 前記開放型X線管のターゲットから照射されたX線を検出するX線検出器と、 X線検出器からのX線検出信号に基づいてX線輝度信号を作成することによりX線画像を作成する画像作成部とを備え、 フィラメント電流供給部とバイアス電圧供給部とにより管電流を制御し、高電圧供給部により管電圧を制御するX線検査装置において、 フィラメント電流が順次増加していくようにフィラメント電流供給部の制御を行うフィラメント電流制御部と、 フィラメント電流の増加に対するX線検出信号の変化、または、X線輝度信号の変化をフィラメント電流特性として計測するフィラメント電流特性計測部と、 計測されたフィラメント電流特性に基づいて、X線検出信号の変化、または、X線輝度信号の変化が飽和したときのフィラメント電流値を飽和フィラメント電流(I0)として抽出する飽和フィラメント電流抽出部とを備えたことを特徴とするX線検査装置。
IPC (5件)：
H05G 1/34 ,  G01N 23/04 ,  H01J 35/06 ,  G21K 5/00 ,  G21K 5/02
FI (5件)：
H05G1/34 C ,  G01N23/04 ,  H01J35/06 C ,  G21K5/00 A ,  G21K5/02 X
Fターム (14件)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001FA06 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  4C092AA01 ,  4C092AB19 ,  4C092AC08 ,  4C092CE06 ,  4C092CF03 ,  4C092CH02 ,  4C092DD03 ,  4C092DD16
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • X線装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-307635   出願人：株式会社島津製作所
審査官引用 (4件)
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