基板移載装置及び基板移載方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-142713
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284433
出願日： 2000年05月16日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：

【要約】【課題】基板移載ユニットが組み込まれていない通常の基板処理装置と基板搬送コンテナとの間で一体化された密閉空間を形成することが可能な基板移載装置を提供する。【解決手段】基板Wが収納される筐体状の本体11と、本体11に設けられ外部との気密状態を保ってコンテナ3の底部開口(基板搬送口)32と連結される上部開口(第1開口)12、本体11に設けられ外部との気密状態を保って基板処理装置5の基板搬送口52と連結される側壁開口(第2開口)13、本体11に接続された排気管15、及び上部開口12とコンテナ3の底部開口32とが連結された状態で底部開口32に対して底蓋33の開閉を行う開閉機構16、本体11内に設置された基板W移載用の移載機構17,18を備えている。

請求項（抜粋）：

基板搬送コンテナと基板処理装置との間で基板を移載するために用いられる基板移載装置であって、基板が収納される筐体状の本体と、前記本体に設けられ外部との気密状態を保って前記基板搬送コンテナの基板搬送口と連結される第1開口と、前記本体に設けられ外部との気密状態を保って前記基板処理装置の基板搬送口と連結される第2開口と、前記本体に接続された排気管と、前記第1開口と前記基板搬送コンテナの基板搬送口が連結された状態で、当該基板搬送口に設けられた蓋を開閉する開閉機構と、前記本体内に設置された基板移載用の移載機構とを備えたことを特徴とする基板移載装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65G 49/00 , B65G 49/06

FI (3件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/00 A , B65G 49/06 Z

Fターム (5件)：

5F031DA01 , 5F031FA03 , 5F031NA04 , 5F031NA08 , 5F031PA23

引用特許：

審査官引用 (4件)

搬送方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-230704 出願人：株式会社日立製作所
電子基板搬送用コンテナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-338223 出願人：ソニー株式会社
特公平7-046694

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