電子基板搬送用コンテナ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-338223
公開番号（公開出願番号）：特開平10-175695
出願日： 1996年12月18日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：

【要約】【課題】蝶番をも含め、コンテナ全体を脱ガスが生じない材料で形成することによって、収納された電子基板に対する有機物汚染防止の向上を図った電子基板搬送用コンテナを提供する。【解決手段】ウエハコンテナ1を、ウエハ100がセットされたカセット200を収納するコンテナ本体2と、シール部材31を有しコンテナ本体2の開口部22に装着可能な蓋部材3と、ウエハ100を固定するためのロッド4と、ロッド4を保持する蝶番5とで構成し、コンテナ本体2と蓋部材3とロッド4とをアルミニウムやステンレスなどの金属材料で形成する共にシール部材31をフッ素系樹脂で形成した。そして、蝶番5をもコンテナ本体2などと同様にアルミニウムやステンレスなどの金属材料で形成した。

請求項（抜粋）：

周壁部,天壁部,及び電子基板がセットされたカセットを出し入れするための開口部を有したコンテナ本体と、上記コンテナ本体の開口部に気密に装着可能な蓋部材と、上記電気基板を固定するためのロッドと、一方の羽根部が上記コンテナ本体の周壁部に取り付けられ且つ他方の羽根部が上記ロッドに取り付けられ、これら羽根部の開閉によって上記ロッドの上記電子基板に対する固定動作及び固定解除動作が可能な蝶番とを具備し、上記コンテナ本体と蓋部材とロッドとが脱ガスを生じない材料で形成された電子基板搬送用コンテナにおいて、上記蝶番をも、上記脱ガスを生じない材料で形成した、ことを特徴とする電子基板搬送用コンテナ。

IPC (2件)：

B65D 85/86 , C23C 14/56

FI (2件)：

B65D 85/38 J , C23C 14/56 G

引用特許：

審査官引用 (4件)

電子基板用コンテナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-208140 出願人：神鋼電機株式会社
ウェハーキャリヤ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-216426 出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド
特表昭63-503259

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