特許
J-GLOBAL ID:200903057360964229

BaTiO3-PbTiO3系単結晶およびその製造方法、圧電型アクチュエータならびに該圧電型アクチュエータを用いる液体吐出ヘッド

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 阪本 善朗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-382756
公開番号(公開出願番号):特開2002-265299
出願日: 2001年12月17日
公開日(公表日): 2002年09月18日
要約:
【要約】【課題】 誘電損失や電気機械結合係数を向上させ、誘電性、圧電性に優れ鉛含有率の低いBaTiO<SB>3</SB> -PbTiO<SB>3</SB> 系単結晶とその製造方法を提供する。【解決手段】 BaTiO<SB>3</SB> 単結晶あるいはBaTiO<SB>3</SB> -PbTiO<SB>3</SB> の単結晶からなる種結晶1と、平均粒径20μm以下の結晶粒から構成され相対密度95%以上で、元素のモル比を0.9900<(Ba+Pb)/Ti<1.0000の範囲とするBaTiO<SB>3</SB> -PbTiO<SB>3</SB> 系焼結体3とを種結晶1の{100}面、{110}面または{111}面を介して接合し、これを非溶融状態で1200〜1400°Cの温度範囲で加熱保持して単結晶育成し、BaTiO<SB>3</SB> -PbTiO<SB>3</SB> 系単結晶5を作製する。本発明のBaTiO<SB>3</SB> -PbTiO<SB>3</SB> 系単結晶は、転位密度が10<SP>2</SP> 〜10<SP>6</SP> 個/cm<SP>2</SP> 、気孔含有量が1体積ppm〜5体積%の範囲にあり、1mm<SP>3</SP> 以上の体積を有する。
請求項(抜粋):
Pbの含有モル数がBaの含有モル数よりも少ないBaTiO3 -PbTiO3 系圧粉体または焼結体を非溶融状態に保ったまま加熱することにより単結晶化されたことを特徴とするBaTiO3 -PbTiO3 系単結晶。
IPC (5件):
C30B 29/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  H02N 2/00
FI (6件):
C30B 29/32 A ,  H02N 2/00 B ,  H01L 41/18 101 A ,  H01L 41/22 A ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/08 C
Fターム (9件):
4G077AA02 ,  4G077BC42 ,  4G077BC43 ,  4G077CA03 ,  4G077CA09 ,  4G077EA02 ,  4G077EA07 ,  4G077HA11 ,  4G077JA08
引用特許:
審査官引用 (9件)
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