特許
J-GLOBAL ID：200903057374472540

周期性パターンムラ検査装置

発明者：
谷澤 恵一

谷澤 恵一 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-387574
公開番号（公開出願番号）：特開2005-147918
出願日： 2003年11月18日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：
【課題】撮像装置により撮像された周期性パターンのムラの検査をする検査装置において、周期性のあるパターン、例えばブラックマトリクスムラを安定的、高精度に撮像、検出可能な、周期性パターンムラ検査装置を提供する。【解決手段】光軸に平行な撮像側平行光学系備え、画像を撮像する手段を具備する撮像部と、検査対象基板を載置し、位置の認知と、X軸及びY軸方向に駆動する手段を具備するXYステージと、上下方向及び左右平行方向及び回転する上下左右回転駆動部と、該駆動部の先端に固定する照明側平行光学系の照明する手段を具備する斜め透過照明部とを備え、周期性パターンのムラの検査の工程を逐次処理する手段を具備する処理部を備えた周期性パターンのムラの検査をする検査装置であって、斜め透過光の照明を行うことで生じる、周期性パターンでの回折光を撮像することを特徴とする周期性パターンムラ検査装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
撮像装置により撮像された周期性パターンのムラの検査をする検査装置において、光軸に平行な撮像側平行光学系を備え、画像を撮像する手段を具備する撮像部と、検査対象基板を載置し、位置の認知と、X軸及びY軸方向に駆動する手段を具備するXYステージと、光軸の上下方向及び前記XYステージの左右平行方向及び光軸で回転する上下左右回転駆動部と、該駆動部の先端に固定した光軸に平行な照明側平行光学系の照明をする手段を具備する斜め透過照明部とを備え、前記撮像部及びXYステージ及び透過照明部を管理し、周期性パターンのムラの検査の工程を逐次処理する手段を具備する処理部を備えた周期性パターンのムラの検査をする検査装置であって、斜め透過光の照明を行うことで生じる、周期性パターンでの回折光を撮像することを特徴とする周期性パターンムラ検査装置。
IPC (3件)：
G01N21/956 ,  G01B11/24 ,  G06T1/00
FI (6件)：
G01N21/956 Z ,  G06T1/00 400C ,  G06T1/00 420F ,  G06T1/00 430G ,  G01B11/24 K ,  G01B11/24 F
Fターム (33件)：
2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065FF48 ,  2F065FF67 ,  2F065GG13 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065HH15 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051ED01 ,  5B047AA11 ,  5B047AA30 ,  5B047BA02 ,  5B047BB06 ,  5B047BC12 ,  5B047BC16 ,  5B047BC30 ,  5B047CA19 ,  5B047CA23
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
  • 欠陥検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-036395   出願人：株式会社ニコン
  • 表面欠陥検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-225549   出願人：日産自動車株式会社
  • 特開平1-313742

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