特許

J-GLOBAL ID：200903057388586556

反射鏡の形状制御装置、形状制御方法及び露光装置

発明者： 竹内 仁
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-097922
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284390
出願日： 1997年04月02日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】熱変形を極力抑えるように反射鏡の形状を制御する装置及び方法並びにそれを用いた露光装置を提供する。【解決手段】ヒータ101,201,301若しくはファン102が、温度分布解析部106,204,304の決定に基づき、反射鏡M2の表面を少なくとも部分的に加熱又は冷却し、反射鏡M2の表面温度分布を調整するので、反射鏡M2の温度は全体で均一に近づき、その熱変形は極力抑えられることになる。

請求項（抜粋）：

所定のパターンを有する入射光のエネルギの一部を吸収して発熱する反射鏡の形状制御装置であって、前記反射鏡の表面温度を測定する測定器と、前記測定器の測定した表面温度に基づき、前記反射鏡の表面温度分布を検出する検出装置と、前記検出装置の検出結果に基づき、前記反射鏡の表面を少なくとも部分的に加熱又は冷却し、それにより前記反射鏡の表面温度分布を調整する温度調整装置とを備えたことを特徴とする反射鏡の形状制御装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/182 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 517 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 7/18 Z ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 被照明部材の温度制御方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-023262   出願人：キヤノン株式会社
• 照明光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-000582   出願人：株式会社ニコン