炭素ナノチューブのマトリックス構造及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (8件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 鈴木三義 , 西和哉 , 村山靖彦 , 実広信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-300366
公開番号（公開出願番号）：特開2004-292302
出願日： 2003年08月25日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】ナノ素子の多様化設計に適する炭素ナノチューブのマトリックス構造を提供することを目的とする【解決手段】本発明は炭素ナノチューブのマトリックス構造を提供し、それは基板、該基板に形成された触媒合金粒子、及び該触媒合金粒子に成長された炭素ナノチューブのマトリックスを含み、該触媒層は複数の寸法が異なった触媒粒子を含み、且つ該触媒粒子の寸法が一定の方向に沿って大きくなり、該炭素ナノチューブのマトリックスは触媒粒子が大きくなった方向へ曲げる。また、前記構造の製法を提供し、基板に一定の方向に沿って厚くなった触媒層を形成し、保護ガス雰囲気でアニールし、該酸化層を触媒粒子に収縮させ、炭化水素ガスを導入し、該触媒粒子に炭素ナノチューブを成長する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板、該基板に形成された触媒層、及び該触媒層に成長された炭素ナノチューブのマトリックスを含む炭素ナノチューブのマトリックス構造であって、該触媒層は複数の寸法が異なったナノオーダーの触媒粒子を含み、且つ該触媒粒子の寸法が一定の方向に沿って大きくなり、該炭素ナノチューブのマトリックスは触媒粒子が大きい方向へ曲がっていることを特徴とする炭素ナノチューブのマトリックス構造。

IPC (2件)：

C01B31/02 , B32B9/00

FI (2件)：

C01B31/02 101F , B32B9/00 A

Fターム (23件)：

4F100AA37B , 4F100AB02B , 4F100AB11A , 4F100AB15B , 4F100AB16B , 4F100AB31B , 4F100AH01B , 4F100AT00A , 4F100BA02 , 4F100BA42B , 4F100DE01B , 4F100DJ00A , 4F100EC202 , 4F100EJ421 , 4F100GB41 , 4F100JL01 , 4F100JL08B , 4G146AA11 , 4G146AB07 , 4G146AD28 , 4G146BA12 , 4G146BC09 , 4G146BC44

引用特許：

審査官引用 (4件)

カーボンナノチューブデバイスおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-305512 出願人：キヤノン株式会社
ナノスケール導体アセンブリとその製造方法、電界放出装置、マイクロ波真空管増幅器、及びディスプレイ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-216032 出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
特許第6445006号

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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