特許
J-GLOBAL ID：200903057429151195
被処理体の処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-253022
公開番号（公開出願番号）：特開2003-068596
出願日： 2001年08月23日
公開日（公表日）： 2003年03月07日
要約：
【要約】【課題】 運転レシピ作成時に、複数のチャンバに対する被処理体の動きを視覚的に把握して、運転レシピを誤りなく容易に作成できるようにする。【解決手段】 処理装置は、運転レシピ作成画面を表示する。この運転レシピ作成画面は、複数のチャンバのイメージ25、ウェーハに見立てたアイコンW、入力画面50を有する。オペレータは、ウェーハを処理すべき手順にしたがって、アイコンWを複数のプロセス室(CM1,CM2,CS1,CS2,PM1,PM2)のイメージ上で移動させる。この移動により入力画面50の搬送順序・プロセス指定部44に、ウェーハの搬送順序が自動的に指定されるとともに、複数のプロセス室で実行するプロセスが指定されていく。これらの指定により運転レシピが作成される。処理装置は、この運転レシピに基づいて複数のプロセス室でウェーハを処理する。
請求項（抜粋）：
運転レシピに基づいて複数のチャンバで被処理体を処理する処理装置において、前記被処理体を処理する前記複数のチャンバのイメージ、前記複数のチャンバイメージから任意のチャンバを指定するためのアイコン、前記複数のチャンバに対する前記被処理体の搬送順位及び各チャンバ毎に前記被処理体を処理するプロセス条件を入力する入力画面を表示する表示手段と、前記複数のチャンバイメージを前記アイコンで順次指定する指定順序を記憶し、前記複数のチャンバでそれぞれ実行する前記被処理体の各プロセス条件を記憶する記憶手段と、前記アイコンで任意のチャンバを指定するための指定情報、および前記複数のチャンバにおける各プロセス条件をそれぞれ入力する入力手段と、前記入力手段、前記記憶手段、前記表示手段に結合された制御手段とを備え、前記制御手段は、前記表示手段に前記複数のチャンバイメージ、前記アイコン、前記入力画面を表示して、前記入力手段による指定情報より前記アイコンで前記表示された複数のチャンバイメージの中から所定のチャンバイメージを順次指定して、この指定順序を前記複数のチャンバに対する前記被処理体の搬送順序として前記記憶手段に記憶させ、前記アイコンで指定された指定チャンバのプロセス条件の入力を前記入力画面上で促し、入力されたプロセス条件を前記指定チャンバと関連づけて前記記憶部に記憶させ、前記被処理体の処理に必要なチャンバ分だけ前記チャンバの指定および指定チャンバのプロセス条件の入力を繰り返して、前記指定されたチャンバに対する前記被処理体の搬送順序、および指定された各チャンバのプロセス条件を時系列的に定めた前記運転レシピを前記記憶部に作成するものであることを特徴とする被処理体の処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/02 Z
, H01L 21/68 A
5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA12
, 5F031MA04
, 5F031PA04
, 5F031PA09
