特許

J-GLOBAL ID：200903083366640477

精密基板収納容器及びその押さえ部材

発明者： 矢島 敏嗣 ,  細井 正人 ,  工藤 秀雄 ,  松尾 孝
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社 ,  信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 荒井 鐘司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-161773
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353301
出願日： 2001年05月30日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】 収納容器に精密基板を収納する際に押さえ部材から発生するアウトガス量を低減させるのに好適で、収納した精密基板を安定に押圧保持できる精密基板収納容器の押さえ部材及びこれを使用した精密基板収納容器を提供する。【解決手段】 本発明の押さえ部材は、少なくとも精密基板を押圧保持する接触部と、該接触部を除く部分とを、異なる材質で形成している。また、押さえ部材1は、方形の枠体部2と、対向する各辺3からそれぞれ内方に張出すように設けられた一対の架設部4に形成された接触部5と、支柱部10を介してさらに張出した張出辺縁部に形成された第二接触部11とを熱可塑性エラストマ-で形成している。また、前記接触部5には、精密基板の周縁部を受け入れる傾斜が途中で異なるV字状溝6が設けられ、第二接触部11を形成するくし歯状に分離突出した弾性片12には、精密基板の周縁部を押圧するV溝が設けられている。

請求項（抜粋）：

一端に開口を有し、精密基板を収納する精密基板収納容器本体と前記収納容器本体に係止可能に設けられた蓋体とからなる精密基板収納容器に取付けられる精密基板の押さえ部材であって、前記押さえ部材が、少なくとも精密基板を押圧保持する接触部とこの接触部を除く部分とを、異なる材質で形成してなることを特徴とする精密基板収納容器の押さえ部材。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86 ,  B65G 49/00 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07

FI (5件)：

H01L 21/68 T ,  B65G 49/00 A ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 L ,  B65D 85/38 R

Fターム (26件)：

3E096AA06 ,  3E096BA15 ,  3E096BB03 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096DA03 ,  3E096DB01 ,  3E096DC01 ,  3E096FA03 ,  3E096GA04 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA06 ,  5F031EA10 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031NA02 ,  5F031NA18 ,  5F031PA18 ,  5F031PA21 ,  5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 半導体ウェーハ収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-058441   出願人：信越ポリマー株式会社, 信越半導体株式会社
• 基板収納容器の識別構造及び基板収納容器の識別方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-124895   出願人：信越ポリマー株式会社
• ウェーハ収納容器のウェーハ抑え
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-166850   出願人：信越ポリマー株式会社, 信越半導体株式会社