特許
J-GLOBAL ID：200903057480027890

固体撮像装置とその製造方法および撮像装置

発明者：
池田 晴美

池田 晴美 について

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檜山 晋

檜山 晋 について

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安藤 崇志

安藤 崇志 について

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田渕 清隆

田渕 清隆 について

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山口 哲司

山口 哲司 について

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大岸 裕子

大岸 裕子 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-333691
公開番号（公開出願番号）：特開2008-306160
出願日： 2007年12月26日
公開日（公表日）： 2008年12月18日
要約：
【課題】十分なホール蓄積層の実現と暗電流の低減とを両立させることを可能とする。【解決手段】入射光を光電変換する受光部12を有する固体撮像装置1において、前記受光部12の受光面12sに形成した界面準位を下げる膜21と、前記界面準位を下げる膜21上に形成した負の固定電荷を有する膜22とを有し、前記受光部12の受光面12s側にホール蓄積層23が形成されることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
入射光を光電変換する受光部を有する固体撮像装置において、 前記受光部の受光面に形成した界面準位を下げる膜と、 前記界面準位を下げる膜上に形成した負の固定電荷を有する膜とを有し、 前記受光部の受光面側にホール蓄積層が形成される ことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (4件)：
H01L 27/146 ,  H01L 31/10 ,  H01L 31/00 ,  H04N 5/335
FI (4件)：
H01L27/14 A ,  H01L31/10 A ,  H01L31/00 B ,  H04N5/335 U
Fターム (25件)：
4M118AA05 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA04 ,  4M118CA32 ,  4M118CA34 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AX01 ,  5C024BX01 ,  5C024CX32 ,  5C024CY47 ,  5C024DX01 ,  5C024GX03 ,  5C024GX24 ,  5C024HX41 ,  5F049MA01 ,  5F049NB05 ,  5F049WA03 ,  5F088AA01 ,  5F088BB03 ,  5F088LA03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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