特許
J-GLOBAL ID：200903057504858216
被検面上のうねり成分を抽出する測定手法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-218205
公開番号（公開出願番号）：特開2002-098519
出願日： 2001年07月18日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：
【要約】【課題】 被検面上のうねりの様子を2次元的に精度良く測定する手法。【解決手段】 工程1において、2次元的に被検面の形状S0 を測定してデータを取り込む。工程2では、工程1で求めた被検面の形状S0 から緩やかに変化する形状Sy を算出する。ここで、「緩やかに変化する形状」とは、被検面の形状の中、高次の形状変化成分を含まない成分を指す。工程3では、工程1で求めた形状S0 と工程2で求めた緩やかに変化する形状成分Sy の差分Δを求める。ここで、Δ=S0 -Sy であり、差分Δは、被検面の形状測定値S0 中の、工程2で求めた緩やかな形状変化成分Sy に含まれないような高次の形状変化成分を含んだものである。したがって、Δは被検面上の高次の形状変化成分である「うねり成分」のみを抽出した結果となる。
請求項（抜粋）：
被検面の形状を解析する手法において、被検面の形状を2次元的に測定する工程と、前記工程によって測定された形状の中、緩やかに変化する形状を算出する工程と、被検面の形状測定値からその算出工程によって算出された緩やかに変化する形状を差し引く工程とを有することを特徴とする被検面上のうねり成分を抽出する測定手法。
Fターム (11件)：
2F069AA58
, 2F069AA60
, 2F069BB40
, 2F069GG01
, 2F069GG04
, 2F069GG07
, 2F069HH30
, 2F069JJ04
, 2F069NN07
, 2F069NN18
, 2F069NN26
