特許

J-GLOBAL ID：200903057517755173

耐紫外線性を有する石英ガラスの製造方法 および石英ガラス光学部材

発明者： 小峯 典男 ,  藤原 誠志 ,  神保 宏樹 ,  平岩 弘之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-211216
公開番号（公開出願番号）：特開平7-061823
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：

【要約】【目的】 水素処理などの二次的処理を行わずとも、紫外線レーザー用石英ガラス光学部材として充分な耐紫外線性を得られるように、構造欠陥の生成そのものを抑制し、さらに含有塩素濃度、含有OH基濃度、および含有金属不純物濃度を最適化した石英ガラスを提供することを目的とする。【構成】 石英ガラスインゴットの成長速度を2mm/時 以下にすることにより高出力なエキシマレーザー光や紫外線の長期にわたる照射に対して、本質的に透過率低下の少ない耐紫外線性に優れた合成石英ガラス光学部材が得られる。

請求項（抜粋）：

塩化ケイ素化合物を酸水素火炎で加水分解し、生じた石英ガラススートをターゲット上に堆積、溶融して石英ガラスインゴットを形成する石英ガラスの製造方法において、前記石英ガラスインゴットの成長速度を2mm/時 以下にすることを特徴とする石英ガラスの製造方法。

IPC (3件)：

C03B 8/04 ,  C03B 19/14 ,  C03B 20/00

引用特許：

審査官引用 (7件)

• 特開昭48-086918
  
• 特開平1-138145
  
• 合成石英ガラス部材の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-282256   出願人：信越化学工業株式会社
• 特開平4-295018
  
• 紫外線レーザー用合成石英ガラス光学部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-299997   出願人：信越石英株式会社
• 特開平3-005339
  
• 特開平3-005338