特許
J-GLOBAL ID:200903057529859381
反射層を有するボロメーター
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大島 陽一
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-567923
公開番号(公開出願番号):特表2002-523770
出願日: 1998年08月31日
公開日(公表日): 2002年07月30日
要約:
【要約】赤外線ボロメーターは、アクティブマトリックスレベル、支持レベル、一対のポスト、吸収レベルを含む。前記アクティブマトリックスレベルは、一対の接続端子を有する基板を含む。前記支持レベルは、一対の支持橋脚を含み、前記各々の支持橋脚は上部に形成された伝導線を有し、ここで前記伝導線の一端は対応する前記接続端子に電気的に接続されている。前記吸収レベルは、吸収体の下部面に取付けられている反射層、前記吸収体により取り囲まれた蛇行状のボロメーター要素、及び前記吸収体の上部に形成された赤外線吸収コーティングを含む。前記反射層は前記吸収体の下面に取付けられていることにより、前記吸収レベルと前記アクティブマトリックスレベルとの間の垂直間隔を調節する必要がなくなるようにする。
請求項(抜粋):
3層構造の赤外線ボロメーターであって、 基板及び少なくとも一対の接続端子を含むアクティブマトリックスレベルと、 それぞれ対応する接続端子に電気的に接続された一端を有する伝導線をそれぞれ備えた少なくとも一対の支持橋脚を有する支持レベルと、 下面に反射層を有する吸収体及び前記吸収体により取り囲まれた蛇行状のボロメーター要素を含む吸収レベルと、 前記吸収レベルと前記支持レベルとの間に配置され、それぞれ絶縁物質により取り囲まれた電線管を含む少なくとも一対のポストとを有し、 前記電線管の上端が前記吸収レベルに結合され、その下端が対応する前記伝導線の他端に電気的に接続されていることを特徴とする赤外線ボロメーター。
IPC (5件):
G01J 1/02
, G01J 5/02
, G01J 5/20
, H01L 27/14
, H01L 37/00
FI (5件):
G01J 1/02 C
, G01J 5/02 C
, G01J 5/20
, H01L 37/00
, H01L 27/14 K
Fターム (21件):
2G065AA04
, 2G065AB02
, 2G065BA12
, 2G065BA32
, 2G065BB11
, 2G065BB24
, 2G065DA05
, 2G066BA09
, 2G066BA23
, 2G066BA25
, 2G066BB11
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA05
, 4M118BA30
, 4M118CA15
, 4M118CA32
, 4M118CA35
, 4M118CB13
, 4M118GA10
, 4M118GD15
引用特許: