特許
J-GLOBAL ID：200903057566990374

回路基板検査装置

発明者：
近藤 寿幸

近藤 寿幸 について


出願人/特許権者：
日置電機株式会社

日置電機株式会社 について


代理人 (1件)： 酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-295468
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098216
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：
【要約】【課題】 回路基板の検査ポイントに検査プローブを正確に移動させる。【解決手段】 実X-Y座標平面におけるX軸と平行に配置されると共に基点目盛りBを含みX軸方向の目盛りが付された第1基準スケール3aと、各検査ポイントの各位置および基点目盛りBの位置に対応する仮想X-Y座標平面における各座標値を記憶するROM11bとを備え、制御装置11は、仮想X-Y座標平面における基点目盛りBの座標上に第1カメラを移動させ、基点目盛りBの位置ズレ量を第1カメラの撮像信号に基づいて検出し、第1カメラを第1基準スケール3aに沿って所定距離だけ移動させると共に実X-Y座標平面上での移動距離を検出し、その移動距離と所定距離とに基づいて仮想X-Y座標平面上における移動量を補正する補正係数を算出し、補正係数に基づいて第1Y軸移動機構12の移動量を補正する。
請求項（抜粋）：
検査対象の回路基板を載置する載置台と、検査プローブが取り付けられた移動体と、仮想X-Y座標平面内で前記移動体を移動させるX-Y移動機構と、当該X-Y移動機構を制御することによって前記移動体を移動させる制御装置とを備えた回路基板検査装置であって、前記載置台における前記回路基板が載置される載置面側に向けて前記移動体に取り付けられた撮像手段と、前記載置面上に規定された実X-Y座標平面におけるX軸およびY軸のいずれか一方の軸と平行に前記載置面上に配置されると共に基点目盛りを含み当該一方の軸に沿った方向の距離を示す目盛りが付された第1基準スケールと、前記回路基板上の各検査ポイントの各位置および前記基点目盛りの位置に対応する前記仮想X-Y座標平面における各座標値を記憶するメモリとを備え、前記制御装置は、前記X-Y移動機構を制御することによって前記メモリに記憶されている前記仮想X-Y座標平面における前記基点目盛りの座標上に前記撮像手段を移動させるステップと、前記基点目盛りの位置に対する当該移動後の撮像手段の位置の前記一方の軸に沿った位置ズレ量を当該撮像手段の撮像信号に基づいて前記目盛りを読み取ることによって検出する検出ステップと、前記X-Y移動機構を制御して前記撮像手段を前記第1基準スケールに沿って予め決められた所定距離だけ平行移動させると共に前記撮像手段の撮像信号に基づいて当該第1基準スケールの目盛りを読み取ることによって前記実X-Y座標平面上での移動距離を検出するステップと、当該検出した移動距離と前記所定距離とに基づいて前記仮想X-Y座標平面上における移動量を補正するための補正係数を算出するステップと、当該補正係数に基づいて前記X-Y移動機構の移動量を補正するステップとを実行する回路基板検査装置。
IPC (2件)：
G01R 31/02 ,  H05K 3/00
FI (2件)：
G01R 31/02 ,  H05K 3/00 Q
Fターム (4件)：
2G014AA01 ,  2G014AB59 ,  2G014AC09 ,  2G014AC12
引用特許：
審査官引用 (4件)
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