特許
J-GLOBAL ID：200903057591305481
垂直作動型プローブカード
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098965
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292439
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【目的】 より高い信頼性を有する垂直作動型プローブカードを提供する。【構成】 測定対象物であるLSI等の半導体集積回路610の電極611に垂直に接触するプローブ100と、このプローブ100が接続される配線パターン(図示省略)が形成された基板200と、この基板200の下面側に設けられ、前記プローブ100を支持するプローブ支持部材300とを備えており、前記プローブ支持部材300を構成する上側支持基板320及び下側支持基板330の貫通孔321、331に貫通させられたプローブ100は、弾性を有する接着剤400で前記上側支持基板320に固定されている。
請求項（抜粋）：
測定対象物の電極に垂直に接触するプローブと、このプローブが接続される配線パターンが形成された基板と、この基板の下面側に設けられ、前記プローブを支持するプローブ支持部材とを具備しており、前記プローブ支持部材を構成する支持基板の貫通孔に貫通させられたプローブは、弾性を有する接着剤で前記支持基板に固定されていることを特徴とする垂直作動型プローブカード。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R 1/073 D
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 B
2G003AA07
, 2G003AG03
, 2G003AG07
, 2G003AG12
, 2G011AA02
, 2G011AA16
, 2G011AB07
, 2G011AB08
, 2G011AC05
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106BA14
, 4M106DD10
