特許
J-GLOBAL ID：200903057596546592

感光性樹脂組成物

発明者：
西 峰雄

西 峰雄 について

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中野 浩二

中野 浩二 について

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高田 芳宏

高田 芳宏 について


出願人/特許権者：
三菱化学株式会社

三菱化学株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-336794
公開番号（公開出願番号）：特開平8-234421
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【目的】 高感度、高解像力を有し、特に仕上がり寸法のパターン依存性が少ない感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド系感光性化合物および溶剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、該キノンジアジド系感光性化合物が、フェノール性化合物(a)と、特定のヒドロキシ芳香族アルデヒド類(b)及び特定のカルボニル化合物類(c)との重縮合物(d)のキノンジアジドスルホン酸エステル化物であり、かつ混合割合(モル比)(b)/(c)が1/99〜99/1であり、重縮合物(d)のポリスチレン換算重量平均分子量が600〜2,000である感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド系感光性化合物および溶剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、該キノンジアジド系感光性化合物が、下記一般式[A]で示される少なくとも一種のフェノール性化合物(a)と、一般式[B]で示される少なくとも一種のヒドロキシ芳香族アルデヒド類(b)及び下記一般式[C]で示される少なくとも1種のカルボニル化合物類(c)との重縮合物(d)のキノンジアジドスルホン酸エステル化物であり、かつヒドロキシ芳香族アルデヒド類(b)とカルボニル化合物類(c)との混合割合(モル比)が(b)/(c)で1/99〜99/1であり、重縮合物(d)のポリスチレン換算重量平均分子量が600〜2,000であることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中、R1 は炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基又はヒドロキシ基を示し、R2 は炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数1〜4のアルコキシ基を示し、R3 及びR4 はそれぞれ水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、アリール基又はアラルキル基を示し、lは0〜3の整数を、mは0〜4の整数を、nは1〜5の整数を示し、mとnの合計は5以下である。但し、lまたはmが2以上の整数の場合、複数のR1 又はR2 はそれぞれ同一でも異なっていてもよい。)
IPC (2件)：
G03F 7/023 501 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F 7/023 501 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
審査官引用 (4件)
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