特許

J-GLOBAL ID：200903057643088182

真空容器内搬送装置

発明者： 中川 洋 ,  鈴木 重人 ,  加藤 一路 ,  大森 誠 ,  三木 利夫 ,  奥野 敦 ,  有賀 信雄 ,  中井 泰弘 ,  中野 克好
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-137849
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332404
出願日： 2002年05月13日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：

【要約】【課題】 真空容器内にて被搬送物を搬送する真空容器内搬送装置において、搬送台の位置決め精度を向上させると共に、一定速度で被輸送物を安全に輸送できるようにする。【解決手段】 真空容器2内に配置され、所定の被搬送物3を保持して搬送する搬送台4と、該搬送台4に連結された2次磁極5と、真空容器2外に、該真空容器2の壁面2bに沿って移動可能に配置された電機子6と、該電機子6を移動させる電機子移動機構7とを備えることを特徴とする真空容器内搬送装置1を提供する。

請求項（抜粋）：

真空容器内に配置され、所定の被搬送物を保持して搬送する搬送台と、該搬送台に連結された2次磁極と、真空容器外に、該真空容器の壁面に沿って移動可能に配置された電機子と、該電機子を移動させる電機子移動機構とを備えることを特徴とする真空容器内搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 D

Fターム (9件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA57 ,  5F031GA64 ,  5F031KA10 ,  5F031LA08 ,  5F031NA05 ,  5F031PA23

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 集合処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-287474   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-255892   出願人：セイコー精機株式会社