特許

J-GLOBAL ID：200903057725211373

力学量センサ

発明者： 酒井 峰一 ,  青山 正紀 ,  舩戸 祐嗣
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-105161
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299640
出願日： 2001年04月03日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 櫛歯状の可動及び固定電極を有し、これら可動及び固定電極の間の容量変化に基づいて力学量を検出するようにした力学量センサにおいて、電極のたわみによるスティッキングを防止する。【解決手段】 可動電極24及び固定電極31、32における個々の櫛歯の平面形状が、根元部側から突出先端部側に向かってテーパ状に細くなった形状となっている。

請求項（抜粋）：

基部(11)と、この基部に対して力学量の印加に応じて所定方向に変位可能なように支持された錘部(20)と、この錘部から突出する櫛歯状の可動電極(24)と、この可動電極における個々の櫛歯の側面と離間して対向するように前記基部から突出する櫛歯状の固定電極(31、32)とを備え、力学量が印加されたときの前記錘部の変位に伴う前記可動電極と前記固定電極との間の容量変化に基づいて、印加力学量を検出するようにした力学量センサにおいて、前記可動電極及び前記固定電極の少なくとも一方における個々の櫛歯の平面形状が、根元部側から突出先端部側に向かってテーパ状に細くなった形状となっていることを特徴とする力学量センサ。

IPC (3件)：

H01L 29/84 ,  G01L 1/14 ,  G01P 15/125

FI (3件)：

H01L 29/84 Z ,  G01L 1/14 K ,  G01P 15/125

Fターム (11件)：

4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA42 ,  4M112CA46 ,  4M112CA51 ,  4M112CA53 ,  4M112DA02 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112FA07

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-163158   出願人：株式会社村田製作所
• 力学量センサとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-206835   出願人：株式会社デンソー