特許

J-GLOBAL ID：200903057777860159

Si単結晶引上げ用石英ガラスるつぼの製造方法

発明者： 崎久保 邦彦 ,  佐々木 泰実
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-113916
公開番号（公開出願番号）：特開2001-302391
出願日： 2000年04月14日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：

【要約】【課題】 高温で軟化し難く、高粘性で変形の少ないSi単結晶引上げ用石英ガラスるつぼが得られるSi単結晶引上げ用石英ガラスるつぼの製造方法の提供。【解決手段】 有底円筒状の保持体2内に、るつぼの外表面に倣った内表面を有する有底円筒状を呈し、かつ、ガス透過性の内側部材3を保持体の内表面との間に通気空間4を存し挿着してなる成形型5を用い、この成形型を軸線間りに回転しながら内側部材内に石英粉を供給し、その内表面に倣った所要厚みの石英粉堆積層7を形成した後、それを内側から加熱して内側が透明で外側が不透明なSi単結晶引上げ用石英ガラスるつぼを製造する方法において、石英粉堆積層の加熱開始と共に、通気空間を通し吸引して石英粉堆積層を所要時間減圧した後、通気空間を通して石英粉堆積層にアルゴンガスを供給する。

請求項（抜粋）：

有底円筒状の保持体内に、るつぼの外表面に倣った内表面を有する有底円筒状を呈し、かつ、ガス透過性の内側部材を保持体の内表面との間に通気空間を存し挿着してなる成形型を用い、この成形型を軸線回りに回転しながら内側部材内に石英粉を供給し、その内表面に倣った所要厚みの石英粉堆積層を形成した後、石英粉堆積層を内側から加熱して内側が透明で外側が不透明なSi単結晶引上げ用石英ガラスるつぼを製造する方法において、前記石英粉堆積層の加熱開始と共に、前記通気空間を通し吸引して石英粉堆積層を所要時間減圧した後、通気空間を通して石英粉堆積層にアルゴンガスを供給することを特徴とするSi単結晶引上げ用石英ガラスるつぼの製造方法。

IPC (3件)：

C30B 29/06 502 ,  C03B 20/00 ,  C30B 15/10

FI (3件)：

C30B 29/06 502 B ,  C03B 20/00 H ,  C30B 15/10

Fターム (4件)：

4G014AH08 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-157427
  
• シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-166282   出願人：東芝セラミックス株式会社
• シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-002548   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 特開昭56-149333