シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボおよびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：波多野久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-002548
公開番号（公開出願番号）：特開平11-199369
出願日： 1998年01月08日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：

【要約】【課題】シリコン単結晶引上げ収率が高く生産性に優れたシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボを提供する。【解決手段】石英ガラスルツボ1の内表面2から1mm以内の層3に酸素欠乏欠陥を20〜150ppm有するシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。

請求項（抜粋）：

ルツボ内表面から1mm以内の層に酸素欠乏欠陥を20〜150ppm有することを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。

IPC (4件)：

C30B 15/10 , C03B 20/00 , C30B 29/06 502 , H01L 21/208

FI (5件)：

C30B 15/10 , C03B 20/00 H , C03B 20/00 G , C30B 29/06 502 B , H01L 21/208 P

引用特許：

審査官引用 (4件)

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