インクジェットプリンタ用アクチュエータ

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：渡邉一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-253401
公開番号（公開出願番号）：特開平10-095112
出願日： 1996年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】振動板の損傷を伴わずに、レーザーによるトリミングを行うことができるインクジェットプリンタ用アクチュエータの提供。【解決手段】キャビティー構造を有する肉厚基板21と、キャビティー20を覆蓋する振動板22とを一体的に形成して成るインクタンク、及び上部電極層25と下部電極層23の間に圧電/電歪層24を配して成る圧電/電歪作動部26を有し、圧電/電歪作動部26を、インクタンク上に、下部電極層23と振動板22とが接触する状態で配置して成る。圧電/電歪層24が振動板22を被覆している部分のみ、上部電極層25をトリミングすることにより、有効電極面積を制御する。上部電極層25の少なくともトリミングを施す部分の近傍において、圧電/電歪層24が振動板22を被覆し、上部電極層25をトリミングする。

請求項（抜粋）：

キャビティー構造を有する肉厚基板と、キャビティーを覆蓋する振動板とを一体的に形成して成るインクタンク、及び上部電極層と下部電極層の間に圧電/電歪層を配して成る圧電/電歪作動部を有し、当該圧電/電歪作動部を、当該インクタンク上に、当該下部電極層と当該振動板とが接触する状態で配置して成るインクジェットプリンタ用アクチュエータであって、当該圧電/電歪層が当該振動板を被覆している部分のみ、当該上部電極層をトリミングすることにより、有効電極面積を制御し、インク噴射量を適宜な値に調節したことを特徴とするインクジェットプリンタ用アクチュエータ。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 41/09

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

インクジェット記録ヘッドの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-142367 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開昭57-181874
特開昭63-020907

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