特許
J-GLOBAL ID:200903057841910513

アナログプローブの較正および誤差マッピング方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 谷 義一 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-578615
公開番号(公開出願番号):特表2002-528709
出願日: 1999年10月25日
公開日(公表日): 2002年09月03日
要約:
【要約】半径(r)の球形のチップが付いたスタイラスを有するアナログプローブを、機械に装着された既知の半径(R)を有する球を使用して較正する。スタイラスチップを、それぞれが球表面に公称垂直な複数の方向(少なくとも9)からスタイラスが所定量だけたわむまで球に対して駆動させる。次に機械の移動を反転させ、スタイラスチップが表面から離れるまでプローブの(a、b、c)たわみ出力を機械の(X、Y、Z)軸位置と同時に記録する。読みを外挿して、プローブの半径方向のたわみがゼロのときの読み(X、Y、Z)を得る。これらの読みから(R+r)の値を、プローブ誤差がゼロの値を与える球の中心位置とともに決定する。さらに、それぞれの方向について予め選択しておいた半径方向のたわみを使用し、そのたわみでのプローブの(a、b、c)出力をトライアルプローブ変換行列を使用して機械の(X、Y、Z)軸増分値に変換することによって(R+r)の値を決定する。外挿によって得られた値からの(R+r)値の差分をそれぞれのケースにおける誤差として記憶(note)し、次いで誤差が最小になるまでトライアルプローブ行列を最適化する。較正によって得られた変換を使用してプローブを誤差マップすることができる。較正アーティファクトとしての球表面でのスタイラスのすべりによって生じる誤差の影響を相対的に受けにくい。
請求項(抜粋):
ワークピースに接触させる半径(r)のチップが付いたスタイラスを有するアナログプローブの較正方法において、 a)プローブと、既知の半径(R)を有する較正球を機械に装着するステップと、 b)それぞれが当該球表面に公称垂直な複数の方向から前記プローブと前記球を相対移動させて、スタイラスチップを前記表面と接触させるとともに前記スタイラスを所定量だけたわませるステップと、 c)前記相対移動を反転させるとともに、前記スタイラスの半径方向のたわみと機械軸X、YおよびZの位置の同時値を少なくとも前記スタイラスチップが前記表面から離れるまで時間間隔をおいて記録するステップと、 d)前記記録した読みのセットをそれぞれ外挿して、前記スタイラスの半径方向のたわみがゼロのときの前記機械のX、YおよびZ軸位置の値を得るステップと、 e)前記外挿した機械軸位置から、値(R+r)と前記球の中心位置を計算するステップと、 f)それぞれの方向について同一となる、予め選択した前記スタイラスの半径方向のたわみのところで前記プローブのa、bおよびc出力を記憶するとともに、トライアルプローブ変換行列を使用して前記プローブのa、bおよびc値を機械軸位置のX、YおよびZ値の増分に変換するステップと、 g)前記計算した前記球の中心位置を使用して、それぞれの方向に測定した前記球の半径(R+r)を判定するステップと、 h)ステップ(e)で判定された前記半径と比較したそれぞれの方向の半径の測定値の差分を記憶するステップと、 i)前記計算した半径の値の差分を最小とするように前記プローブ変換行列を最適化するステップと を含むことを特徴とする方法。
Fターム (20件):
2F069AA04 ,  2F069AA13 ,  2F069AA39 ,  2F069AA66 ,  2F069BB40 ,  2F069CC08 ,  2F069EE04 ,  2F069EE23 ,  2F069FF07 ,  2F069GG01 ,  2F069GG11 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH01 ,  2F069LL02 ,  2F069NN00 ,  2F069NN17 ,  2F069NN18 ,  2F069NN19 ,  2F069NN21
引用特許:
審査官引用 (18件)
  • 特開平4-178509
  • 特開平4-178509
  • 特開平1-202611
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