特許
J-GLOBAL ID：200903057881538382
薄膜評価装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-314320
公開番号（公開出願番号）：特開2006-125996
出願日： 2004年10月28日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：
【課題】マイクロメートル程度以下の薄膜に対する膜厚測定を高精度で行い、バックグランド成分を除去する仕組みを持つ装置を提供する。【解決手段】バックグランド信号の混入防止のため、以下の方法を組み入れた薄膜評価装置とする。(1)周波数の違いを利用し、周波数フィルターでバックグランド成分の元となる光を除去する。(2)光路の違いを利用し、振動検出信号の強度だけがある周期で振動するようにし、その周波数成分を含む信号のみ抽出する。(3)振動検出信号成分とバックグランド成分の位相が90度ずれるようし、ロックインアンプでバックグランド成分を除去する。(4)振動検出信号の周波数をバックグランド信号の周波数の倍にし、振動検出信号の周波数に合わせて信号検出を行い、バックグランド信号を除去する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
薄膜中に超音波を発生させ、前記超音波の振動数に対する表面振動振幅の依存性を測定する装置であって、超音波励起用の2個の光(周波数:f1、f2)、プローブ光(周波数:fp)、及び干渉測定用のローカル光(周波数:fr)の計4個の光と、干渉光用検出器と、前記2個の超音波励起光を干渉させてビート状ポンプ光を発生させる手段と、前記ビート状ポンプ光と前記プローブ光を試料表面に導く光学回路と、前記ローカル光と試料表面で反射した前記プローブ光を前記干渉光用検出器に導く光学回路と、前記ローカル光と試料表面で反射した前記プローブ光を干渉させて|fp-f1+f2-fr|の周波数で振動するヘテロダイン干渉信号を得る手段と、前記超音波励起光(周波数:f2)と前記ローカル光(周波数:fr)を1個の連続レーザーから作り出してf2=frの関係を持たせる手段と、前記超音波励起光(周波数:f1)と前記プローブ光(周波数:fp)を別の1個の連続レーザーから作り出して周波数差|f1-fp|を一定値に保持する手段と、前記周波数差|f1-fp|で振動する周期信号を参照信号として前記ヘテロダイン干渉信号(周波数:|f1-fp|)を検出するロックインアンプと、前記2個の連続レーザーの片方、または両方を波長可変連続レーザーとしてその波長を変化させることにより前記超音波の振動数を走査する手段を備え、試料表面で反射した後の前記プローブ光に含まれるシフト成分(周波数:|fp-f1+f2|)と試料表面を経ることなく前記干渉光用検出器に到達する前記ローカル光(周波数:fr)の両周波数とは異なる周波数の光を遮蔽するフィルターを試料と前記干渉光用検出器の間に設置することを特徴とする薄膜評価装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N29/00 501
, G01B17/02 Z
2F068AA28
, 2F068CC00
, 2F068DD03
, 2F068FF03
, 2F068FF12
, 2F068FF25
, 2F068GG07
, 2F068PP06
, 2G047AA05
, 2G047AB05
, 2G047BA04
, 2G047BC02
, 2G047BC18
, 2G047CA04
, 2G047EA04
, 2G047EA10
, 2G047GD01
, 2G047GF05
, 2G047GF11
, 2G047GF21
, 2G047GG17
, 2G047GG34
