特許
J-GLOBAL ID:200903057908819338

流量計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 萩野 平 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-097656
公開番号(公開出願番号):特開平11-295123
出願日: 1998年04月09日
公開日(公表日): 1999年10月29日
要約:
【要約】【課題】 少ない計算量で流量値の計測を可能とし、消費電力を低減させることが可能な流量計測装置を提供すること。【解決手段】 流量計測装置は、流量センサ107の上流側サーモパイル101および下流側サーモパイル103から得たデータを、それぞれ差動増幅器109に入力する。差動増幅器109によって差動および増幅されたデータは、ピークホールド回路111によってピークが検出され、次にA/D変換器113によってA/D変換される。A/D変換されたピークデータは、マイコン121の判断部115に入力され、判断部115はルックアップテーブル117を参照してパルス幅を変更するか、あるいは流量演算部119によって流量値演算するかを判断する。
請求項(抜粋):
ヒータと、前記ヒータの下流側に設置された下流側温度センサと、前記ヒータの上流側に設置された上流側温度センサと、を備えた流量センサと、前記ヒータを駆動させる駆動パルスを出力するヒータ駆動回路と、前記下流側温度センサおよび前記上流側温度センサの出力の差のピーク値を検出するピーク値検出手段と、前記ピーク値検出手段から出力された前記ピーク値をA/D変換するA/D変換器と、前記A/D変換されたピーク値に応じてピーク値と流量値との関係が一次関数となるように前記ピーク値を変化させるパラメータを変更するパラメータ変更手段と、前記A/D変換されたピーク値から流量値を所定の一次関数式によって算出する流量演算手段と、を備えた処理手段と、を具備したことを特徴とする流量計測装置。
引用特許:
出願人引用 (6件)
  • センサ駆動装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-198260   出願人:矢崎総業株式会社
  • マスフローコントローラ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-010828   出願人:横河電機株式会社
  • 特開平3-172716
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