特許

J-GLOBAL ID：200903057941381674

合成石英ガラス光学部材およびその製造方法

発明者： 生田 順亮 ,  菊川 信也 ,  増井 暁夫 ,  下平 憲昭
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-129196
公開番号（公開出願番号）：特開平11-322352
出願日： 1998年05月12日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：

【要約】【課題】エキシマレーザ光による透過率の低下のない合成石英ガラス光学部材を得る。【解決手段】水素分子含有量が5×1016分子/cm3 未満である合成石英ガラスを、水素ガス0.1〜30気圧の雰囲気下で合成石英ガラス中のOH基濃度に応じた温度にて加熱処理して水素分子を5×1016分子/cm3 以上含有させる工程を含むことを特徴とする合成石英ガラス光学部材の製造方法。

請求項（抜粋）：

紫外線波長域のレーザ光を照射して使用される合成石英ガラス光学部材の製造方法であって、水素分子の含有量が5×1016分子/cm3 未満である合成石英ガラスを、水素ガス0.1〜30気圧の雰囲気下で合成石英ガラス中のOH基濃度に応じて式1により与えられる温度Tc (°C)以下の温度にて加熱処理して水素分子を5×1016分子/cm3 以上含有させる工程を含むことを特徴とする合成石英ガラス光学部材の製造方法。Tc =370+1.55[COH]・・・式1ただし式1において[COH]は石英ガラス中のOH基濃度(ppm)を表す。

FI (2件)：

C03B 20/00 E ,  C03B 20/00 F

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-101282
  
• エキシマレーザ光学素材用合成石英ガラス部材およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-182189   出願人：信越化学工業株式会社
• 合成石英ガラス材及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-213770   出願人：住友金属工業株式会社, 住金石英株式会社
• 特開平3-101282