ウェーハの収納装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：綿貫隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-197439
公開番号（公開出願番号）：特開2002-016121
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】ウェーハ10を搬送用カセット30へ安全に好適に収納することができると共に、水の使用量を低減することができること。【解決手段】ウェーハ10を、シュータ20の上面である水が流された傾斜面22に沿って降下させ、ウェーハ搬送用のカセット30へ収納させるウェーハ10の収納装置において、傾斜面22に水の吐出口24が複数設けられたシュータ20の内部に、少ない流量の水が吐出口24から傾斜面22の広範囲に広がって吐出するよう、複数の吐出口24に連通する水の流路が水の直進性を阻害するように多層構造に形成されている。

請求項（抜粋）：

ウェーハを、シュータの上面である水が流された傾斜面に沿って降下させ、ウェーハ搬送用のカセットへ収納させるウェーハの収納装置において、前記傾斜面に水の吐出口が複数設けられた前記シュータの内部に、少ない流量の水が前記吐出口から前記傾斜面の広範囲に広がって吐出するよう、前記複数の吐出口に連通する水の流路が水の直進性を阻害するように多層構造に形成されていることを特徴とするウェーハの収納装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B23Q 7/08 , B65G 1/00 543 , B65G 11/20 , B65G 49/07

FI (5件)：

H01L 21/68 A , B23Q 7/08 A , B65G 1/00 543 Z , B65G 11/20 Z , B65G 49/07 J

Fターム (20件)：

3C033BB04 , 3C033LL01 , 3C033MM02 , 3F011AA01 , 3F011BA04 , 3F011BB05 , 3F011BC03 , 3F022CC02 , 3F022EE05 , 3F022JJ18 , 3F022MM02 , 3F022MM11 , 3F022MM51 , 5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA11 , 5F031FA18 , 5F031GA62 , 5F031GA63 , 5F031PA20

引用特許：

審査官引用 (5件)

ウェーハの収納装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-068164 出願人：不二越機械工業株式会社
特表平7-508961
物品取扱いシステム
公報種別：公表公報出願番号：特願平6-504478 出願人：ミネソタ・マイニング・アンド・マニュファクチュアリング・カンパニー

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