特許

J-GLOBAL ID：200903058009836261

偏光角調整機構

発明者： 溝口 巌
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-336287
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153725
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】光の利用効率が高い偏光解析装置を提供する。【解決手段】偏光解析装置100は、対象試料114に向けて光ビームを射出するビーム射出部130と、偏光子138と、対象試料114で反射された光ビームを間隔おいて平行に折り返して測定試料124に方向付ける折り返しプリズム170と、検光子140と、検光子140を透過した光を検出するための光検出器150とを備えている。偏光解析装置100は、偏光子138が透過する直線偏光と同じ偏光面を持つ直線偏光が偏光子138に入射されるのを達成するために、ビーム射出部130から射出されるビームの光軸周りに関する偏光面の向きすなわち角度を調整する偏光角調整機構200を備えている。偏光角調整機構200は、ビーム射出部130と偏光子138の間に配置され、光軸の周りに回転可能に支持された直線偏光回転素子202を備えている。

請求項（抜粋）：

ビーム射出部から射出される直線偏光のビームを偏光子を介して二種類の試料で反射させ、二種類の試料の表面状態の差によって生じる偏光の性質を用いて、試料の表面状態を解析する偏光解析装置において、ビーム射出部から射出される直線偏光のビームを、偏光子が透過する直線偏光の偏光面と同じ偏光面を持つ直線偏光のビームに変換する偏光角調整機構。

IPC (3件)：

G01J 4/04 ,  G01B 11/06 ,  G01N 21/21

FI (3件)：

G01J 4/04 Z ,  G01B 11/06 Z ,  G01N 21/21 Z

Fターム (35件)：

2F065AA30 ,  2F065BB22 ,  2F065DD03 ,  2F065FF50 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL02 ,  2F065LL09 ,  2F065LL12 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL47 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2G059AA02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE11 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059KK01 ,  2G059KK02 ,  2G059LL02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光送信装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-329407   出願人：キヤノン株式会社
• 偏光解析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-016840   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 半導体レーザ光源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-010515   出願人：富士写真フイルム株式会社