薄型コンデンサとその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：廣澤勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-013403
公開番号（公開出願番号）：特開平11-195552
出願日： 1998年01月06日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】強誘電体の結晶膜を簡単な構成で比較的低温で形成することが可能な薄型コンデンサとその製造方法を提供する。【解決手段】絶縁性の基板12の表面に所定の回路パターン11とその延長の下部電極14が形成されており、この下部電極14の表面に所定の形状のチタン膜18が形成されている。チタン膜18の表面には、結晶性の強誘電体膜20が形成され、この強誘電体膜20と回路パターン11を接続した上部電極24が形成されている。

請求項（抜粋）：

絶縁性の基板の表面に所定の回路パターンと下部電極が形成され、この下部電極の表面にチタン膜が設けられ、このチタン膜の表面に電気化学的に形成された結晶性の強誘電体膜を備え、この強誘電体膜と上記回路パターンを接続した上部電極が設けられた薄型コンデンサ。

IPC (5件)：

H01G 4/12 352 , H01G 4/12 400 , H01B 1/16 , H01B 3/12 301 , H01G 4/33

FI (5件)：

H01G 4/12 352 , H01G 4/12 400 , H01B 1/16 A , H01B 3/12 301 , H01G 4/06 102

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-302117
積層型素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-102779 出願人：三菱化成株式会社
誘電体結晶膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-305312 出願人：宇部興産株式会社

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