特許

J-GLOBAL ID：200903058079036467

静電容量型物理量センサ

発明者： 椎木 正和
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-263732
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090300
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 陽極接合時に、可動電極と固定電極が溶融一体化するのが防止できる静電容量型物理量センサを提供すること【解決手段】 第1のガラス基板2の表面に、第1の固定電極9と同電位極13を設け、固定電極に対向する重り部6の表面に凹部14を設ける。同電位極は、重り部ひいてはその表面の可動電極7と同電位となる。そして、重り部と固定電極との距離より、シリコン基板と同電位極との距離が短くなる。よって、シリコン基板と第1のガラス基板を陽極接合する際に、固定電極と可動電極(重り部の表面)間に静電引力が発生し、重り部が固定電極に引き寄せられたとしても、重り部は、先に同電位極と接触し、固定電極と接触しない。よって、重り部と同電位極では電位差がなく電流が流れずアーク放電も生じない。また、両電極が接触しないので、両者が溶着することもない。

請求項（抜粋）：

表面に可動電極を備えた、物理量によって変位する可動部を有する半導体基板と、前記可動電極に対向する位置に固定電極が設けられた絶縁基板とを備えた静電容量型物理量センサであって、前記可動部に対向する前記絶縁基板の表面所定位置に、前記可動電極と同電位となる同電位極を形成し、半導体基板と絶縁基板とを陽極接合する際に、前記可動電極と同電位極とが接触可能としたことを特徴とする静電容量型物理量センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-299267
  
• マイクロセンサ及びそれを用いた制御システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-063154   出願人：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
• 小型シリコン加速度計及びその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-003220   出願人：ノースロップ・コーポレーション
• 特開平4-032773