特許

J-GLOBAL ID：200903058088921422

熱分解窒化硼素容器

発明者： 狩野 正樹 ,  萩原 浩二 ,  佐藤 明
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-076604
公開番号（公開出願番号）：特開平9-263454
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 高い耐熱衝撃性と耐久性とを有する熱分解窒化硼素容器を提供する。【解決手段】 熱分解窒化硼素からなる支持基材の外面及び/または内面の全部または一部を輻射光吸収層で被覆し、その最外面及び/またはその最内面を絶縁層または保護層で被覆してなる熱分解窒化硼素容器において、該支持基材及び該輻射光吸収層の表面の粗さの凹凸の平均間隔Smを0.002mm以上、0.1mm以下とし、かつ該凹凸の最大高さRyを10μm以上としてなることを特徴とする熱分解窒化硼素容器。

請求項（抜粋）：

熱分解窒化硼素からなる支持基材の外面及び/または内面の全部または一部を輻射光吸収層で被覆し、その最外面及び/またはその最内面を絶縁層または保護層で被覆してなる熱分解窒化硼素容器において、該支持基材及び該輻射光吸収層の表面の粗さの凹凸の平均間隔Smを0.002mm以上、0.1mm以下とし、かつ該凹凸の最大高さRyを10μm以上としてなることを特徴とする熱分解窒化硼素容器。

IPC (4件)：

C04B 35/583 ,  B01J 3/00 ,  C01B 21/064 ,  C04B 41/87

FI (4件)：

C04B 35/58 103 X ,  B01J 3/00 K ,  C01B 21/064 J ,  C04B 41/87 H

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 熱分解窒化ほう素容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-292365   出願人：信越化学工業株式会社
• 静電チャック付セラミックスヒーター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-316374   出願人：信越化学工業株式会社, 東京エレクトロン株式会社