特許

J-GLOBAL ID：200903058095322593

配向性圧電体膜

発明者： 青山 拓 ,  樋口 天光
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-411896
公開番号（公開出願番号）：特開2005-170726
出願日： 2003年12月10日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

【課題】 表面弾性波素子に適用した場合に、高いエネルギー変換効率が得られる配向性圧電体膜の提供。【解決手段】この発明は、(112)サファイア基板上に、ニオブ酸カリウム結晶膜からなる圧電体膜を形成し、この形成されたニオブ酸カリウム結晶膜の分極軸方位が(112)サファイア基板表面にほぼ平行になるようにした。(112)サファイア基板と、ニオブ酸カリウム結晶膜との間に、バッファ層として酸化マグネシウム結晶を挟むようにしても良い。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

(112)サファイア基板上にニオブ酸カリウム結晶膜を形成し、この形成されたニオブ酸カリウム結晶膜の分極軸方位が前記サファイア基板表面にほぼ平行であることを特徴とする配向性圧電体膜。

IPC (4件)：

C30B29/30 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H03H9/25

FI (4件)：

C30B29/30 A ,  H03H9/25 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z

Fターム (18件)：

4G077AA03 ,  4G077AA07 ,  4G077AB02 ,  4G077AB07 ,  4G077BC31 ,  4G077CB02 ,  4G077CB06 ,  4G077DA01 ,  4G077DA11 ,  4G077DB01 ,  4G077ED06 ,  4G077EF02 ,  4G077GA03 ,  4G077HA11 ,  5J097AA00 ,  5J097FF01 ,  5J097GG06 ,  5J097HA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 配向性強誘電体薄膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-319228   出願人：富士ゼロックス株式会社
• ニオブ酸カリウム圧電薄膜を有する表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、及び電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-073090   出願人：セイコーエプソン株式会社