特許
J-GLOBAL ID：200903058219998280

異なるサイズの接触面を有するアダプターと、これを用いた異物検査装置

発明者：
平田 浩幸

平田 浩幸 について

, 
神酒 直人

神酒 直人 について


出願人/特許権者：
株式会社トプコン

株式会社トプコン について


代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-180630
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007186
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】 互いに異なるサイズのウエハを1つの異物検査装置で検査できるようにする。【解決手段】 第1サイズ用吸着載置テーブルに取りつく第1接触面と、第1サイズより小さいか又は大きな第2サイズ用第2接触面とからなる吸着載置テーブルに取りつけるアダプター。
請求項（抜粋）：
吸着載置テーブルに取り付けるアダプターにおいて、第1サイズ用吸着載置テーブルに取り付く第1接触面と、第1サイズより小さいか又は大きな第2サイズ用第2接触面とを有するアダプター。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
H01L 21/68 N ,  H01L 21/66 J ,  G01N 21/88 645 A
Fターム (30件)：
2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051CA02 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA03 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA14 ,  2G051FA10 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106BA05 ,  4M106CA41 ,  4M106DB02 ,  4M106DB07 ,  4M106DB08 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ03 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ32 ,  5F031CA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA13 ,  5F031HA58 ,  5F031MA33 ,  5F031PA16
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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