エアロゾル分析装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：波多野久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-344114
公開番号（公開出願番号）：特開平9-184808
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】狭い空間領域におけるエアロゾル測定を、元素単位に分割するための大掛かりな機構を必要とすることなくコンパクトな構成で、また誤動作のおそれもなく、遠隔操作等によって容易に、かつ高精度で行うことができるようにする。【解決手段】エアロゾル19を含むガスの出入口10,11および複数の光学窓を有するとともに内部に反応領域12を設定したサンプリングセルと、ガス中のエアロゾルをプラズマ化させるためのレーザ光5を発するブレークダウン用レーザ装置1と、このレーザ装置1で発したレーザ光をサンプリングセルに光学窓17aから導入して反応領域12に集光させるレーザ光集光手段と、反応領域で集光したレーザ光によるエアロゾルのブレークダウンによって発生する蛍光13を他の光学窓17bの部位に集光させる蛍光集光手段14と、集光した蛍光を他の光学窓17bから入力してその蛍光の波長分別によりエアロゾルの構成元素の分析を行う光計測器とを備える。

請求項（抜粋）：

エアロゾルを含むガスの出入口および複数の光学窓を有するとともに内部に反応領域を設定したサンプリングセルと、前記ガス中のエアロゾルをプラズマ化させるためのレーザ光を発するブレークダウン用レーザ装置と、このレーザ装置で発したレーザ光を前記サンプリングセルに前記光学窓から導入して前記反応領域に集光させるレーザ光集光手段と、前記反応領域で集光したレーザ光によるエアロゾルのブレークダウンによって発生する蛍光を他の光学窓の部位に集光させる蛍光集光手段と、集光した蛍光を前記他の光学窓から入力してその蛍光の波長分別により前記エアロゾルの構成元素の分析を行う光計測器とを備えたことを特徴とするエアロゾル分析装置。

IPC (3件)：

G01N 21/64 , G01N 15/14 , G01N 21/63

FI (3件)：

G01N 21/64 Z , G01N 15/14 D , G01N 21/63 A

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開平3-245043
特開昭48-039087
粒度分布測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-257877 出願人：株式会社島津製作所

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