特許

J-GLOBAL ID：200903058315039561

角速度センサ

発明者： 度會 武宏 ,  林 哲史 ,  加藤 謙二 ,  三浦 和彦 ,  川瀬 友生 ,  竹内 祥修
出願人/特許権者： 日本電装株式会社
代理人 (1件)： 足立 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168723
公開番号（公開出願番号）：特開平8-210860
出願日： 1995年07月04日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【課題】 圧電体からなる音叉形状の振動子を用いて角速度を検出する角速度センサにおいて、S/Nを向上して、角速度を高精度に検出できるようにする。【解決手段】 振動子2の左右一対のアーム部4,6に、夫々、一対の駆動電極12a,12bを設け、駆動電極12a,12bに180度位相の異なる交流電圧を印加して振動子2を振動させる。また、各アーム部4,6には、一対の検出電極18a,18bを設け、この検出電極にて得られた検出信号を差増増幅し、差動増幅後の検出信号を、モニタ電極14dを介して得られたモニタ信号を基準に同期検波することにより、z軸周りの角速度Ωzを検出する。この結果、各アーム部4,6を常に安定して振動させることができると共に、各検出信号に重畳されたノイズを相殺して角速度を検出することができ、S/Nのよい角速度センサを実現することができる。

請求項（抜粋）：

一対のアーム部と各アーム部の一端を連結する連結部とを有する音叉形状に形成された圧電体からなる振動子と、該振動子に形成された駆動電極と共通電極との間に交流電圧を印加して、前記振動子を、前記一対のアーム部の配列方向であるy軸方向に励振する駆動手段と、前記振動子に形成された検出電極を介して、少なくとも一方のアーム部の前記y軸に直交する所定方向の振動状態を検出し、該振動状態から所定軸回りの角速度を検出する検出手段と、を備えた角速度センサにおいて、前記一対のアーム部を、夫々、前記振動子において略コ字状を呈する側面であるX1,X2面に直交するx軸方向に分極処理すると共に、前記一対のアーム部の各々に駆動電極を設けて、前記駆動手段が前記一対のアーム部を励振するよう構成してなることを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 振動ジャイロ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-106121   出願人：東和エレクトロン株式会社
• 振動型角速度検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-043814   出願人：日本電装株式会社