ポジ型感光性樹脂組成物並びにそれらを用いた半導体装置及び表示素子

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-251311
公開番号（公開出願番号）：特開2006-071663
出願日： 2004年08月31日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：

【課題】特に金属との密着性に優れたポリベンゾオキサゾール樹脂又はポリイミド樹脂又はその共重合樹脂を提供することを目的とするポリアミド樹脂とそれらを用いた露光特性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を提供するものである。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂(A)、感光性ジアゾキノン化合物(B)、一般式(1)または(2)で表される群より選ばれた少なくとも1種類以上の有機ケイ素化合物(C)及びフェノール化合物(D)を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化47】【化48】

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂(A)、感光性ジアゾキノン化合物(B)、一般式(1)または(2)で表される群より選ばれる少なくとも1種類以上の有機ケイ素化合物(C)及びフェノール化合物(D)を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/075 , C08G 73/06 , G03F 7/004 , G03F 7/022 , G03F 7/037 , G03F 7/085 , H01L 21/027

FI (8件)：

G03F7/075 501 , G03F7/075 521 , C08G73/06 , G03F7/004 501 , G03F7/022 , G03F7/037 , G03F7/085 , H01L21/30 502R

Fターム (45件)：

2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CC06 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J043PA04 , 4J043PA19 , 4J043PB02 , 4J043PB22 , 4J043QB15 , 4J043QB33 , 4J043RA05 , 4J043RA52 , 4J043SA06 , 4J043SB02 , 4J043TA11 , 4J043TA21 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA151 , 4J043UA152 , 4J043UA561 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB152 , 4J043UB221 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB351 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043ZB22 , 4J043ZB24

引用特許：

出願人引用 (1件)

特公平1-46862号公報

審査官引用 (7件)

感光性重合体組成物、パターンの製造法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-364142 出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
半導体装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-117391 出願人：住友ベークライト株式会社
大規模集積回路および液晶配向膜パターンの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-290838 出願人：株式会社日立製作所

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